作为动态光场调控的“光学大脑”,相位型LCoS‑SLM(硅基液晶空间光调制器)如今已是量子计算、半导体精密加工、激光制造、光通2信等前沿赛道不可或缺的核心器件。这项技术的源头,便扎根于英国剑桥大学工程系光电子与传感器中心长达四十余年持续深耕的科研沃土之中。
一、技术起源:剑桥开启LCoS的探索之路
早在上世纪70‑90年代,剑桥大学Bill Crossland教授开启了硅基液晶光电芯片的开创性研究。1979 年,Bill Crossland 教授成功研制出全球早期的硅基液晶(LCoS)芯片,开启了 LCoS 技术的纪元,也奠定了他作为 LCoS 技术奠基人的行业地位。并于1992年正式创立剑桥光电子与传感器中心,成为全球首批系统性布局LCoS技术的科研团队之一,奠定了相位型LCoS器件的底层架构理论基础。
彼时,早期LCoS器件以显示投影应用为主,但相位调制性能、响应速度、良率等诸多短板,严重限制了它在科研和工业场景的落地。团队率先将研发重心,从传统振幅显示转向纯相位光场调控器件的技术攻关。
代表性奠基论文:
Ferroelectric liquid crystal on silicon spatial light modulator designed for high yield and low cost fabrication: The fast bitplane SLM , T. D. Wilkinson, W. A. Crossland et al. Ferroelectrics, 1998
该文献开启剑桥团队铁电液晶高速LCoS像素阵列的研究,探索高良率、低成本芯片制备方案,为后续相位型SLM打下器件架构根基。
二、性能攻坚:持续迭代,解决LCoS核心痛点
2008年初大平教授接任剑桥光电子与传感器中心主任之后,团队开启长达十余年的性能优化之路,瞄准相位闪烁噪声、相位调制精度、相位响应均匀度、衍射效率等长期制约LCoS工业化应用的关键难题展开系统性攻关。
1、攻克相位闪烁难题,提升成像质量
相位闪烁一直是相位型LCoS器件核心的噪声来源,会直接造成全息重建图像畸变。剑桥团队针对性开展大量驱动波形优化研究,产出标志性成果:
Effects of phase flicker in digitally driven phase‑only LCOS devices on holographic reconstructed images, Yuan Tong, Mike Pivnenko, Daping Chu. Optics Express, 2020
2、实现10‑bit高精度相位调制
为了满足高精度光场调控需求,团队将相位灰度等级从低位数提升至10‑bit(1024级),并且开创性引入深度学习算法,补偿器件非线性误差,大幅提升相位调制线性度。
Implementation of 10‑Bit Phase Modulation for Phase‑Only LCOS Devices Using Deep Learning, Yuan Tong, Mike Pivnenko, Daping Chu. Advanced Devices & Instrumentation, 2020
3、建立相位测量与补偿方案
针对盖板玻璃反射带来的相位测量误差,团队提出基于衍射的相位补偿算法,解决器件工作过程中相位均匀度测量不准的行业痛点。
Diffraction based phase compensation method for phase‑only liquid crystal on silicon devices in operation, Zichen Zhang, Mike Pivnenko, Daping Chu, Applied Optics, 2011
经过一系列科研攻关,剑桥团队逐步突破相位精度、噪声控制、均匀度等关键瓶颈,让LCoS‑SLM从一款实验室演示器件,具备了走向工业场景的性能基础。
三、拓展边界:面向前沿领域的多元化应用研究
在器件性能稳步提升的同时,剑桥CPDS团队不断拓宽LCoS的应用赛道,把硅基液晶技术与超表面、全息算法、光通信、三维全息成像等前沿方向深度融合,产出一系列面向未来的前瞻性研究成果。
1. 光通信波长选择开关方向:探索LCoS光束偏转角度提升方案,赋能下一代光通信WSS器件研发
Increasing steering angle of LCoS in a WSS system through integration with a metasurface, Chang X, Pivnenko M, Chu D. Applied Optics, 2023
2. 全息显示算法优化方向:提出新型相位检索算法,优化纯相位全息图计算效率,降低SLM非线性带来的图像失真问题。
四十余年,剑桥团队累计产出上百篇高水平学术论文,布局50余项液晶与LCoS‑SLM国际专利,完整打通了从底层液晶材料、像素芯片设计、驱动控制算法到多场景应用方案的完整技术链路,沉淀了丰厚的技术家底。
四、技术归国,落地苏州:剑芯光电续写剑桥LCoS产业化篇章
实验室的科研成果,需要走向产业,赋能实体经济。依托剑桥大学这条成熟的LCoS技术主线,李昆博士跟随初大平教授在剑桥完成长期产业化原型研发;2014年在英国创立CamOptics Ltd,获得剑桥大学企业部启动资金,完成初代LCoS芯片、驱动系统原型开发,申请多项PCT国际发明专利,迈出技术转化。
2022年,团队带着剑桥四十余年积淀的全套LCoS底层核心技术回国,于苏州工业园区成立剑芯光电(苏州)有限公司(CamOptics),在苏州开启高性能相位型LCoS‑SLM国产化量产之路。
剑芯光电完整继承源自剑桥大学的LCoS技术谱系,掌握从底层液晶材料开发、硅基液晶芯片版图设计、光学封装工艺、相位校准算法,到全息CGH生成软件的全链路自主可控技术,建设起国内的LCoS芯片封装、测试量产产线。
如今,剑芯光电的国产LCoS‑SLM产品已经走出实验室,落地半导体晶锭剥离、晶圆开槽、飞秒激光多光束加工、量子计算光场调控、光通信波长选择开关等前沿工业与科研场景,打破海外相位型空间光调制器长期垄断的局面。
从剑桥实验室的一纸论文,到苏州工业园一条量产产线;从海外前沿科研探索,到国产光场调控器件落地生根。剑芯光电,正在将源自剑桥四十载的LCoS技术火种,化作中国光子产业高质量发展的一束强光。